桌上型電漿清洗機 Plasma Cleaner

關於電漿清洗機

電漿清洗機，又稱「等離子清洗機」，基本工作原理是在真空的狀態下，設備腔體內通入氬氣、氮氣、氧氣等氣體，在高頻率的交變電場作用下形成電漿，腔體內被清洗物在電漿的物理及化學雙重作用下，使其表面殘留揮發物、雜質、灰塵、氧化物等變成離子或氣態物質，這些離子或氣體在真空幫浦的抽離下排出腔體，剝離出被清洗的物體表面，進而達到清洗的目的，達到一般清洗方法無法達到的效果。採用這種電漿清洗的方法能夠提升材料的黏附性與濕潤性，去除不同類型的污染物和雜質，進而為之後的工序奠定良好的基礎。

PT 電漿清洗機卓越性能

PT 桌上型小型電漿清洗機是一部先進的表面處理設備，體積小巧確有高達500W的強勁射頻功率，通過利用電漿等離子體技術，可以環保且高效清洗和改善材料表面性能，尤其是提升材料表面親水性（Hydrophilicity）的效果特別顯著。

寬度僅僅只有45公分，小型實驗桌就足以安置

本設備在實驗室研究、生產製造和工業領域中廣泛應用，為各行各業提供可靠的表面清洗解決方案。

去除雜質、油脂、污染物、表面氧化

PT 桌上型小型電漿清洗機具有高效的清洗能力，可以將材料表面的有機污染物、油脂、脫模劑、蛋白質、有機溶劑不純物去除，使表面達到高度潔淨，提高親水性，是製程中的表面塗佈 (Coating)、膠合(Gluing)前處理必要的設備。

經過處理後，水滴的接觸角明顯大幅降低
(左側照片，樣品已經過異丙醇擦拭，目視已經非常乾淨，但還是不夠)

PT桌上型小型電漿清洗機能夠改善材料表面性能提高材料的親水性、附著力、潤濕性、耐腐蝕性和電子傳輸性能，使其更適合特定的應用。例如，在微電子製造中，電漿等離子清洗可以去除氧化物並改善電晶體的性能。

適合實驗室的小型電漿清洗機

PT桌上型小型電漿清洗機具有操作簡便、自動化程度高，是一款專門針對小批量樣品研製的高階表面清潔設備。

機器開機後，需要經過使用者管理，操作者只能進入操作介面。細節設定、調機的功能，只有知道管理者密碼的人員才能觸碰，能夠避免不熟悉的人員誤操作。

使用者操作介面非常簡單，只需將待清洗的材料放入清洗室，調整清洗時間，按下 RUN 按鈕，設備就能自動完成清洗過程。人員幾乎完全不用訓練就能夠上手，特別適合多人共用的實驗室、工廠製程中的產品簡易處理。

簡潔的使用者操作介面

體積小、大功率

PT桌上型小型電漿清洗機是一款專門針對小批量樣品研製的表面清潔設備，機器寬度只有45公分，設備小巧放在實驗桌上不佔太多空間，真空腔容量大，可放置4吋基板。清洗過程不會產生高溫，避免產品產生熱變形；可以處理清洗各種各樣的材質，如金屬、半導體、氧化物或高分子材料，應用廣泛。

電漿清洗艙內部可放置4吋基板

電漿清洗機執行清洗中

PT桌上型小型電漿洗淨機產品特色

• 採用射頻電源、觸控設定一鍵式操控。
• 低溫電漿等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
• 無環境污染、無化學品消耗，機台本身不產生污染物。
• 可處理形狀複雜的材料，材料表面處理的均勻性好。
• 可提升各式材料表面親水性
• 適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。
• 對處理產品無損傷，不改變材料特性。

 ITO玻璃表面清洗前後對照圖

電漿清洗機相關應用

金屬表面清潔。如銅、鋁、鐵、不銹鋼、鈦合金等。這些材料經常用於製造各種器具、儀器、零部件等，容易受到氧化、腐蝕、沉積、污染等影響，需要通過清洗來提高使用壽命和性能。

半導體材料表面清潔。如矽(Si)、磷化銦(InP)、氮化矽(Si3N4)、碳化矽(SiC)、砷化鎵(GaAs)、氧化鋅(ZnO2)、氮化鋁(AlN)等。這些材料廣泛應用於電子、光電、資訊等領域，需要通過清洗來去除表面有機物、無機鹽等雜質，提高材料的純度和穩定性。

玻璃製品表面清潔。如硼矽玻璃、鋁矽玻璃等。這些材料應用於光學、醫療、生物等領域，容易受到油垢、灰塵、指紋等影響，需要通過清洗來提高透明度和表面光潔度。

塑膠和彈性體的表面清潔，如聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯等。這些材料應用於包裝、建築、汽車、航空等領域，容易受到污染、氧化、老化等影響，需要通過清洗來提高外觀和使用壽命。

無機材料去除表面氧化。如氧化鋁、氮化矽、氧化鋯等。這些材料應用於高溫、耐磨、電絕緣等領域，容易受到氧化、污染、沉積等影響，需要透過清洗來提高使用壽命和性能。