小型旋轉塗佈機 Spin Coater

尺寸精巧,適用4吋基材,可放入手套箱操作

SKU: SPINCOATER4IN
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旋轉塗佈機

旋轉塗佈機是一種將基板均勻覆蓋一層薄膜漿料的機器。又稱為塗佈機,旋塗機,勻膠機。

機器的塗佈槽中央有一個吸嘴,下面跟真空泵浦連接。吸嘴上方會套上一個特定大小的吸盤,用來接觸並吸附樣品基板,運轉時吸盤會帶動基板旋轉。

操作時,開啟機器的真空吸附功能,把基板固定於吸盤正中央。在基板上滴上適量的漿料後,啟動塗佈機讓吸盤帶動基板旋轉,藉此產生離心力,把漿料往外擴散。初期以低轉速旋轉,讓漿料均勻散佈在基板各個角落;後期以高速旋轉,讓基板上的漿料逐漸變薄,直到預期的薄膜厚度,多餘的漿料在過程中,落入塗佈槽中。

產品簡介

最適合實驗室的旋塗機

這部旋轉塗佈機,專門為實驗室日常需求所設計,精巧的尺寸,邊長不超過30公分,不會佔據實驗桌太多空間,即便放入手套箱操作也沒問題。全機採用防水薄膜按鍵與液晶螢幕,能有效防止漿料潑濺滲入機器內。

Small Spin Coater

處理4吋基材、晶圓

可拆卸式樣品塗佈槽設計,方便清洗維護。無邊框樣品槽尺寸,足足有20公分直徑,處理4吋晶圓時,周圍還有充裕的空間。

Removable Pot

Spin Coater Pot Diameter 20cm

5段轉速程控,5組程式記憶

操控方面,可選擇定速模式或可程式變速模式,最多可以設定5組獨立程式,每組程式可以設定5段轉速,並可以設定從100到9999 rpm/s的加速度。設定界面直覺簡單,即使不看手冊也會操作。

啟動時,調用之前設定好的程式後,馬上按照預設的參數逐步運轉。

三種尺寸吸盤一次給齊

標配包含10mm,25mm,2英吋三種尺寸吸盤,使用者可以根據樣品尺寸,自行替換安裝,可以應付日常實驗各式各樣的基板 Wafer。

Vacuum Chuck

旋塗機產品特色

  • 尺寸精巧,僅有210mm x 265mm x 213mm ,放入手套箱操作也沒問題。
  • 可拆卸式塗佈槽設計,更方便清洗。可容納 10mm 到 4英吋圓形基板。
  • 液晶面板顯示,防水薄膜按鍵。
  • 一鍵自動控制真空吸引、洩壓。
  • 耐腐蝕透明上蓋。
  • 標配為鋁合金外殼,可選配耐腐蝕PP塑料外殼。

旋轉塗佈機的原理

旋轉塗佈製程,是將薄膜漿料塗附到基板上的技術。當旋轉塗佈機高速帶動旋轉材料基板與滴附在基板上的漿料溶液時,向心力和液體的表面張力,逐漸將漿料溶液形成均勻的覆蓋層。最後,待剩餘溶劑蒸發後,塗附的材料,會形成厚度從幾奈米到幾微米的薄膜。

旋塗廣泛應用於各種工業和技術領域。與其他方法相比,旋塗的主要優點是能夠快速、簡易地製造出非常均勻的薄膜。對於一般實驗室來說,是一種低成本的操作技術。

旋轉塗佈機的應用

半導體材料:光致抗蝕劑、沉積聚合物薄膜,相關材料的基板塗佈。

生物科技:Teflon AF ®等含氟聚合物薄膜,實現微奈米結構功能

化工材料製程:超疏水塗層

塗佈機訂購資訊

小型通用旋轉塗佈機 (鋁製外殼)

小型抗腐蝕旋轉塗佈機 (PP塑料外殼)

另外我們還有適合6吋基板的機型,歡迎洽詢。

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[轉速範圍]: 100-9999rpm (1 rpm 解析度,100-9999 rpm/s加速度可調)
[轉速設定]: 定速或5段程控變速(每段定時最長3000秒,共可儲存5組程式)
[真空吸盤]: 10mm, 25mm, 2 inch 標配三組吸盤
[外殼材質]: 鋁合金外殼 (可選配耐腐蝕PP外殼)
[基板尺寸]: 10mm - 4 inch
[機器尺寸]: 210mm (W) x 265mm (D) x 213mm (H)
[電源]: AC100 - 230V 國際電壓
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