小型旋轉塗佈機 Spin Coater

旋轉塗佈機

旋轉塗佈機是一種將基板均勻覆蓋一層薄膜漿料的機器。又稱為塗佈機，旋塗機，勻膠機。

Easy Coater 4 是一部簡易型光阻塗佈勻膠機，適用於4英吋以下的晶圓或圓形基板。機器的塗佈槽中央有一個吸嘴，下面跟真空泵浦連接。吸嘴上方會套上一個特定大小的吸盤，用來接觸並吸附樣品基板，運轉時吸盤會帶動基板旋轉。

操作時，開啟機器的真空吸附功能，把晶圓固定於吸盤正中央。在基板上滴上適量的漿料後，啟動塗佈機讓吸盤帶動基板旋轉，藉此產生離心力，把漿料往外擴散。初期以低轉速旋轉，讓漿料均勻散佈在基板各個角落；後期以高速旋轉，讓基板上的漿料逐漸變薄，直到預期的薄膜厚度，多餘的漿料在過程中，落入塗佈槽中。

旋塗機產品簡介

最適合實驗室的旋塗機

這部旋轉塗佈機，專門為實驗室日常需求所設計，精巧的尺寸，邊長不超過30公分，不會佔據實驗桌太多空間，即便放入手套箱操作也沒問題。全機採用防水薄膜按鍵與液晶螢幕，能有效防止漿料潑濺滲入機器內。

處理4~6吋基材、晶圓

可拆卸式樣品塗佈槽設計，方便清洗維護。塗佈槽分離取下後，可直接拿去水槽清洗。

無邊框樣品槽尺寸，足足有20公分直徑，處理4吋~6吋晶圓時，周圍還有充裕的空間。

5段轉速程控，5組程式記憶

操控方面，可選擇定速模式或可程式變速模式，最多可以設定5組獨立程式，每組程式可以設定5段轉速，並可以設定從100到9999 rpm/s的加速度。設定界面直覺簡單，即使不看手冊也會操作。

啟動時，調用之前設定好的程式後，馬上按照預設的參數逐步運轉。

三種尺寸吸盤一次給齊

標配包含10mm，25mm，2英吋三種尺寸吸盤，使用者可以根據樣品尺寸，自行替換安裝，可以應付日常實驗各式各樣的基板 Wafer。

旋塗機產品特色

• 尺寸精巧，僅有210mm x 265mm x 213mm ，放入手套箱操作也沒問題。
• 可拆卸式塗佈槽設計，更方便清洗。可容納 10mm 到 6英吋圓形基板。
• 液晶面板顯示，防水薄膜按鍵。
• 一鍵自動控制真空吸引、洩壓。
• 耐腐蝕透明上蓋。
• 標配為鋁合金外殼，可選配耐腐蝕PP塑料外殼。

塗佈機訂購資訊

小型通用旋轉塗佈機 (鋁製外殼)

小型抗腐蝕旋轉塗佈機 (PP塑料外殼)

另外我們還有適合8吋基板的機型，歡迎洽詢。

技術補充資料

旋轉塗佈機的原理

旋轉塗佈製程，是將薄膜漿料塗附到基板上的技術。當旋轉塗佈機高速帶動旋轉材料基板與滴附在基板上的漿料溶液時，向心力和液體的表面張力，逐漸將漿料溶液形成均勻的覆蓋層。最後，待剩餘溶劑蒸發後，塗附的材料，會形成厚度從幾奈米到幾微米的薄膜。

旋塗廣泛應用於各種工業和技術領域。與其他方法相比，旋塗的主要優點是能夠快速、簡易地製造出非常均勻的薄膜。對於一般實驗室來說，是一種低成本的操作技術。

旋轉塗佈機的應用

半導體材料：光致抗蝕劑、沉積聚合物薄膜，相關材料的基板塗佈。

生物科技：Teflon AF ®等含氟聚合物薄膜，實現微奈米結構功能

化工材料製程：超疏水塗層

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