X射線光譜儀

X射線 (X光) 光譜法,是利用帶測物被高能量光束激發後,所發出的X射線輻射,來進行測量與光譜分析,並得知待測物的物質組成。目前X射線光譜法主要的技術有:能量色散X射線光譜 (EDS, Energy-dispersive X-ray spectroscopy) ,波長色散X射線光譜 (WDS, Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy)。

目前商業化的X射線光譜儀,已發展出配備不同偵測器的產品,並提供不同程度解析度的分析能力,除了常見的矽、鍺材質的偵測器外,還有一些特殊使用超導體元件的超導穿隧接面 (STJ) 的偵測器,結合 EDS 與 WDS 的優點。常見的X射線光譜儀,如X射線繞射儀 (XRD, X-ray Diffractometer,XRD), X射線螢光光譜儀 (XRF, X-Ray Fluorescence),全反射式X射線螢光光譜儀 (TXRF, Total Reflection X-Ray Fluorescence, based on EDXRF)。

分光儀產品,請參閱:GNR 全系列火花放電分光儀

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