桌上型顯影機 Desktop Developing Equipment

產品簡介

塗佈顯影在半導體生產中扮演著至關重要的角色。在半導體製造的複雜流程中，塗佈顯影機是微影製程中重要的設備，與曝光機配套使用，共同完成精細的微影製程流程。

具體來說，塗佈顯影機主要用於在半導體晶圓片上均勻塗覆光阻劑，並進行精確的顯影處理。光阻劑是半導體製造中的一種關鍵材料，它能夠在特定光線的照射下發生化學反應，進而在晶圓片上形成精細的圖案。塗佈顯影機通過精確控制塗膠和顯影的過程，確保光阻劑的均勻性和顯影的準確性，為後續的刻蝕和沉積等步驟提供高品質的圖案樣本。

DM系列桌上型顯影機採用全封閉式設計，可避免霧氣擴散到外部，污染環境，性價比高，穩定性好，重複性佳，對微影製程有非常理想的效果。設備配有三道噴嘴(一道顯影劑、一道純水、一道氮氣吹氣)，並且噴嘴位置可程式控制移動，並可微調噴嘴位置及自動手臂作用半徑，實現自動顯影和清洗作業。

產品特色

• 全封閉式顯影，避免腔內霧氣擴散到腔體外，污染環境。
• 採用抗蝕外殼，容易清理。
• 內腔採用不銹鋼材質，鏡面拋光處理，光滑，耐腐蝕，易清洗。
• 內置真空篩檢程式，防止液體吸入真空幫浦。
• 真空壓力可調，壓力值即時顯示。
• 液體流量可調，回吸可調。