桌上型顯影機 Desktop Developing Equipment

微影製程

微影製程（photolithography 或 optical lithography，大陸稱為光刻工藝）是半導體元件製造製程中的一個重要步驟在微影製程中，光阻劑塗佈和顯影過程的品質直接影響到圖形轉移的精度和解析度，而塗佈及顯影機則在這一過程中的最重要部分。

• 微影製程中的塗佈過程

光阻劑塗佈是微影製程中的第一步，通常使用旋轉塗佈法將光阻劑均勻的塗佈在基板表面。光阻劑是一種光敏材料，能在曝光過程中根據曝光區域的不同變化其物理化學性質。為了確保塗佈過程的均勻性和一致性，需要選擇高精度的旋轉塗佈裝置，才可以確保光阻劑以均勻的厚度覆蓋整個基板。

• 微影製程中的顯影過程

在顯影過程中同樣非常重要，透通過精確控制顯影液的噴灑或浸漬時間、溫度和液體流動狀態，以確保顯影過程的均勻性和穩定性。顯影液的成分通常包括有機溶劑、腐蝕性化學品等，自動化系統需要根據不同類型的光阻劑工藝要求，自動調整顯影時間和液體量，避免過度顯影或顯影不足，進一步確保微圖形的準確轉移。

DM系列桌上型顯影機

顯影機是微影製程中顯影過程的一個重要設備，DM系列桌上型顯影機採用全封閉式設計，可避免霧氣擴散到外部，污染環境，性價比高，穩定性好，重複性佳，對微影製程有非常理想的效果。設備配有三道噴嘴(一道顯影劑、一道純水、一道氮氣吹氣)，並且噴嘴位置可程式控制移動，並可微調噴嘴位置及自動手臂作用半徑，完成自動顯影和清洗作業。

產品特色

• 全封閉式顯影，避免腔內霧氣擴散到腔體外，污染環境。
• 採用抗蝕外殼，容易清理。
• 內腔採用不銹鋼材質，鏡面拋光處理，光滑，耐腐蝕，易清洗。
• 內置真空篩檢程式，防止液體吸入真空幫浦。
• 真空壓力可調，壓力值即時顯示。
• 液體流量可調，回吸可調。

訂購資訊

DM系列桌上型顯影機 (另可搭配自動點膠、去邊、背洗功能)， 歡迎洽詢。