PT500 小型電漿清洗機 Plasma Cleaner

PT500 小型電漿清洗機是一款專門針對小批量樣品研製的表面清潔設備

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電漿清洗機的原理

電漿清洗機,又稱「等離子清洗機」,基本工作原理是在真空的狀態下,設備腔體內通入氬氣等惰性氣體,在高頻率的交變電場作用下形成電漿,腔體內被清洗物在電漿的物理及化學雙重作用下,使其表面殘留揮發物、雜質、灰塵、氧化物等變成離子或氣態物質,這些離子或氣體在真空幫浦的抽離下排出腔體,剝離出被清洗的物體表面,進而達到清洗的目的,達到一般清洗方法無法達到的效果。採用這種電漿清洗的方法能夠提升材料的黏附性與濕潤性,去除不同類型的污染物和雜質,進而為之後的工序奠定良好的基礎。

電漿清洗機產品簡介

PT500小型電漿清洗機是一種先進的表面處理設備,通過利用電漿等離子體技術,可以環保且高效清洗和改善材料表面性能。該設備在實驗室研究、生產製造和工業領域中廣泛應用,為各行各業提供了一種可靠的解決方案。

去除雜質、油脂、污染物、表面氧化

PT500小型電漿清洗機具有高效的清洗能力,可以將材料表面的有機污染物、油脂、灰塵和其他雜質去除,使表面恢復潔淨。這種清洗方式不需要使用溶劑或化學品,因此避免了對環境和健康的危害,並且能夠高效去除微小和難以觸及的區域的污染物。

PT500小型電漿清洗機能夠改善材料表面性能提高材料的附著力、潤濕性、耐腐蝕性和電子傳輸性能,使其更適合特定的應用。例如,在微電子製造中,電漿等離子清洗可以去除氧化物並改善電晶體的性能。

適合實驗室使用的小型電漿清洗機

PT500小型電漿清洗機具有操作簡便、自動化程度高的特點。使用者只需將待清洗的材料放入清洗室,並設置清洗參數,設備就能自動完成清洗過程。這種自動化的操作方式節省了人力和時間成本,並且確保清洗的一致性和可重複性。

PT500小型電漿清洗機是一款專門針對小批量樣品研製的表面清潔設備,具有設備小巧,真空腔容量大,可放置4吋基板,適用於實驗室環境,機器寬度只有45公分,放在實驗桌上不佔太多空間;清洗過程不會產生高溫,避免產品產生熱變形;可以處理清洗各種各樣的材質,如金屬、半導體、氧化物或高分子材料,應用廣泛。

電漿洗淨機產品特色

  • 採用射頻電源、觸控設定一鍵式操控。
  • 低溫電漿等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
  • 無環境污染、無化學品消耗,機台本身不產生污染物。
  • 可處理形狀複雜的材料,材料表面處理的均勻性好。
  • 適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。
  • 對處理產品無損傷,不改變材料特性。


圖1  ITO玻璃表面清洗前後對照


電漿清洗機相關應用

  • 金屬表面清潔。如銅、鋁、鐵、不銹鋼、鈦合金等。這些材料經常用於製造各種器具、儀器、零部件等,容易受到氧化、腐蝕、沉積、污染等影響,需要通過清洗來提高使用壽命和性能。
  • 半導體材料表面清潔。如矽、氮化矽、碳化矽、砷化鎵等。這些材料廣泛應用於電子、光電、資訊等領域,需要通過清洗來去除表面有機物、無機鹽等雜質,提高材料的純度和穩定性。
  • 玻璃製品表面清潔。如硼矽玻璃、鋁矽玻璃等。這些材料應用於光學、醫療、生物等領域,容易受到油垢、灰塵、指紋等影響,需要通過清洗來提高透明度和表面光潔度。
  • 塑膠和彈性體的表面清潔,如聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯等。這些材料應用於包裝、建築、汽車、航空等領域,容易受到污染、氧化、老化等影響,需要通過清洗來提高外觀和使用壽命。
  • 無機材料去除表面氧化。如氧化鋁、氮化矽、氧化鋯等。這些材料應用於高溫、耐磨、電絕緣等領域,容易受到氧化、污染、沉積等影響,需要透過清洗來提高使用壽命和性能。

[腔體材質]: 不銹鋼
[射頻電源功率]: 0-500W 可調
[射頻頻率]: 25KHz
[真空度]: <100Pa
[氣體通道]: 單通道
[氣體流量]: 0.1~1 L/min(可調)
[清洗時間]: 0~999秒連續可調
[內腔尺寸ΦxD]: 145mm*165mm
[載台尺寸WxD]: 90mm*110mm
[外部尺寸WxDxH]: 452mm*340mm*225mm
[重量]: 18KG
[電源]: AC220V
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