產品簡介

紫外臭氧清洗過程提供一種簡單，經濟，快速獲得超潔淨的表面，能去除大多數無機基材（如石英，矽晶片， 砷化鎵，氧化鋁，玻璃、陶瓷、金屬）等的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的黏合時，使用紫外臭氧清洗機可獲得超潔淨的表面。

UC100紫外臭氧清洗機是通過產生185nm和254nm高強度UV光來分解有機分子(污染物)。185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收並分解。PSD和PSDP分解有機污染物，然後形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉變成氧分子。

UC100紫外臭氧清洗機不需要任何溶劑，也不會損壞清潔表面。去除大多數無機基板中的有機污染物。UC100紫外臭氧清洗機提供了一種高效、精確的清洗方法，也是一種非常重要的表面改性技術。應用於表面處理、有機清洗、提高表面親水性、降低表面接觸角、增加表面附著力、增強表面功函數等。

UC100紫外臭氧清洗機採用液晶顯示螢幕，數位化的介面讓使用者使用更加簡單，操作按鈕和顯示螢幕提供友好的使用操作。基材高度使用X型的調節裝置，高度調節更加平穩，可直接在抽屜內部調節高度，區別於市場上部分紫外臭氧清洗機需要取出調節且四腳調節高度不均。進風及抽風風扇採用5段調速，都可在系統內部設定調節。系統內部可查看燈管使用時間，方便在燈管壽命極限前提早更換燈管。

產品特色

• 樣品台和紫外線燈之間的距離可以調節。
• 高效、大功率低壓石英汞燈允許在標準時間內達到原子級清潔度。
• 長壽命低壓汞格柵燈，燈壽命長。
• 集成崁入式控制系統，只需幾個設定即可完成清洗過程。
• 抽屜式清洗腔體
• 當清潔室打開時，紫外線燈將自動關閉，以避免對人體造成傷害。
• 獨立式托盤結構，提高取放片效率
• 節省空間，控制與反應室一體化設計，美觀、節省空間。
• 獨立式燈源，降低更換燈源成本
• 具燈源計時器可計算燈的使用時間。

產品應用

• 表面的原子級清洗
• 聚合物黏合
• 去除有機分子
• 釋放捕獲的無機分子
• 紫外光固化
• 表面化學改性
• 表面殺菌
• 表面氧化
• 光學鏡片清潔
• 金屬粘合準備
• 薄膜沉積之前先進行基片清洗
• 光刻膠去除