電漿清洗機的原理

電漿清洗機，又稱「等離子清洗機」，基本工作原理是在真空的狀態下，設備腔體內通入氬氣等惰性氣體，在高頻率的交變電場作用下形成電漿，腔體內被清洗物在電漿的物理及化學雙重作用下，使其表面殘留揮發物、雜質、灰塵、氧化物等變成離子或氣態物質，這些離子或氣體在真空幫浦的抽離下排出腔體，剝離出被清洗的物體表面，進而達到清洗的目的，達到一般清洗方法無法達到的效果。採用這種電漿清洗的方法能夠提升材料的黏附性與濕潤性，去除不同類型的污染物和雜質，進而為之後的工序奠定良好的基礎。

電漿清洗機產品簡介

PT500小型電漿清洗機是一種先進的表面處理設備，通過利用電漿等離子體技術，可以環保且高效清洗和改善材料表面性能。該設備在實驗室研究、生產製造和工業領域中廣泛應用，為各行各業提供了一種可靠的解決方案。

去除雜質、油脂、污染物、表面氧化

PT500小型電漿清洗機具有高效的清洗能力，可以將材料表面的有機污染物、油脂、灰塵和其他雜質去除，使表面恢復潔淨。這種清洗方式不需要使用溶劑或化學品，因此避免了對環境和健康的危害，並且能夠高效去除微小和難以觸及的區域的污染物。

PT500小型電漿清洗機能夠改善材料表面性能提高材料的附著力、潤濕性、耐腐蝕性和電子傳輸性能，使其更適合特定的應用。例如，在微電子製造中，電漿等離子清洗可以去除氧化物並改善電晶體的性能。

適合實驗室使用的小型電漿清洗機

PT500小型電漿清洗機具有操作簡便、自動化程度高的特點。使用者只需將待清洗的材料放入清洗室，並設置清洗參數，設備就能自動完成清洗過程。這種自動化的操作方式節省了人力和時間成本，並且確保清洗的一致性和可重複性。

PT500小型電漿清洗機是一款專門針對小批量樣品研製的表面清潔設備，具有設備小巧，真空腔容量大，可放置4吋基板，適用於實驗室環境，機器寬度只有45公分，放在實驗桌上不佔太多空間；清洗過程不會產生高溫，避免產品產生熱變形；可以處理清洗各種各樣的材質，如金屬、半導體、氧化物或高分子材料，應用廣泛。

電漿洗淨機產品特色

• 採用射頻電源、觸控設定一鍵式操控。
• 低溫電漿等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
• 無環境污染、無化學品消耗，機台本身不產生污染物。
• 可處理形狀複雜的材料，材料表面處理的均勻性好。
• 適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。
• 對處理產品無損傷，不改變材料特性。

圖1  ITO玻璃表面清洗前後對照

電漿清洗機相關應用

• 金屬表面清潔。如銅、鋁、鐵、不銹鋼、鈦合金等。這些材料經常用於製造各種器具、儀器、零部件等，容易受到氧化、腐蝕、沉積、污染等影響，需要通過清洗來提高使用壽命和性能。
• 半導體材料表面清潔。如矽、氮化矽、碳化矽、砷化鎵等。這些材料廣泛應用於電子、光電、資訊等領域，需要通過清洗來去除表面有機物、無機鹽等雜質，提高材料的純度和穩定性。
• 玻璃製品表面清潔。如硼矽玻璃、鋁矽玻璃等。這些材料應用於光學、醫療、生物等領域，容易受到油垢、灰塵、指紋等影響，需要通過清洗來提高透明度和表面光潔度。
• 塑膠和彈性體的表面清潔，如聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯等。這些材料應用於包裝、建築、汽車、航空等領域，容易受到污染、氧化、老化等影響，需要通過清洗來提高外觀和使用壽命。
• 無機材料去除表面氧化。如氧化鋁、氮化矽、氧化鋯等。這些材料應用於高溫、耐磨、電絕緣等領域，容易受到氧化、污染、沉積等影響，需要透過清洗來提高使用壽命和性能。