產品簡介

MICA-1600 超導微量熱X射線光譜儀，是一部能夠用來執行奈米級微量分析的儀器，它結合了能量色散光譜 (EDS, Energy Dispersive Spectroscopy) 與波長色散光譜 (WDS, Wavelength Dispersive Spectroscopy) 的優點，提供超高解析度的分析能力。

與場發射電子顯微鏡 (如 Hitachi S-4800) 組合時，讓原本被減弱的X射線，還是能夠被儀器的超導體相變熱輻射偵測器 (TES, Superconducting Transition Edge Sensor)所偵測。讓本儀器可結合場發射電子顯微鏡，來分析半導體元件的結構，解析疊線，偵測微量元素，以及在低能量射線下分析物質細微的特性。相較於傳統的能量色散光譜儀，MICA超導微量熱X射線光譜儀可提供60倍於EDS的解析度。

MICA超導微量熱X射線光譜儀配備脈衝管冷卻器與隔熱消磁致冷器，無須使用液態氮等外加冷卻劑，使儀器便於操作，具備長期的穩定性，並能夠快速提供定性、定量的化學分析。

產品特色

• 能量解析度在 1.7 keV 下，小於10eV FWHM 
  
• 偵測區域可達 4mm2 
  
• 能量計數率可達 10 kcps 
  
• 無X射線光學系統 
  
• 可同步偵測 183eV 到 10keV的整個光譜區間
  
• 特徵峰值清晰容易辨識 
  
• X射線光譜可對應到樣品的某個位置 

訂購資訊 

MICA超導微量熱X射線光譜儀