X射線光譜儀

X射線 (X光) 光譜法，是利用帶測物被高能量光束激發後，所發出的X射線輻射，來進行測量與光譜分析，並得知待測物的物質組成。目前X射線光譜法主要的技術有：能量色散X射線光譜 (EDS, Energy-dispersive X-ray spectroscopy) ，波長色散X射線光譜 (WDS, Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy)。

目前商業化的X射線光譜儀，已發展出配備不同偵測器的產品，並提供不同程度解析度的分析能力，除了常見的矽、鍺材質的偵測器外，還有一些特殊使用超導體元件的超導穿隧接面 (STJ) 的偵測器，結合 EDS 與 WDS 的優點。常見的X射線光譜儀，如X射線繞射儀 (XRD, X-ray Diffractometer，XRD)， X射線螢光光譜儀 (XRF, X-Ray Fluorescence)，全反射式X射線螢光光譜儀 (TXRF, Total Reflection X-Ray Fluorescence, based on EDXRF)。

分光儀產品，請參閱：GNR 全系列火花放電分光儀