旋轉塗佈機

旋轉塗佈機的旋轉盤(spin chuck)以真空吸住樣品(如玻璃基板)後,使用者將化學物質由噴嘴(Nozzle)滴在樣品上,利用旋轉的離心力,將化學物質均勻塗佈在樣品上。

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